特許
J-GLOBAL ID：200903036138655750
ボンディングワイヤの外観検査装置及び外観検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131201
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322532
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 ボンディングワイヤの外観検査装置及び外観検査方法に関し,ボンディングボール部を精度よく検出することを目的とする。【構成】 ボンディングワイヤの張られたチップを照明する照明装置11と, チップを撮像する撮像装置12と, 撮像した画像を電気信号に変換したデータを格納する画像メモリ14と, パッドのデータを格納するパッドデータメモリ15と, 画像メモリ14からパッドを含むウインドウ領域を切り出すウインドウ生成部16と, ウインドウ領域のデータから明るさの高スライスレベル及び低スライスレベルを設定する明るさ範囲設定部17と, ウインドウ領域からのデータ及び明るさ範囲設定部17からの入力によりボンディングボールを検出するためのボンディングボールスライスレベルを算出するスライスレベル設定部18と, ウインドウ領域からボンディングボールスライスレベル以下の領域を検出するボンディングボール検出部19とを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
ボンディングワイヤ(1) の張られたチップ(5) を照明する照明装置(11)と,該ボンディングワイヤ(1) の張られたチップ(5) を撮像する撮像装置(12)と,撮像した画像を電気信号に変換したデータを格納する画像メモリ(14)と,該チップ(5) 上のパッド(3) のデータを格納するパッドデータメモリ(15)と,パッド(3) のデータを該パッドデータメモリ(15)から読み出し,該画像メモリ(14)から該パッド(3) を含むウインドウ領域を切り出すウインドウ生成部(16)と, 該ウインドウ領域のデータから明るさの高スライスレベル及び低スライスレベルを設定する明るさ範囲設定部(17)と,該ウインドウ領域からのデータ及び該明るさ範囲設定部(17)からの入力によりボンディングボールを検出するためのボンディングボールスライスレベルを算出するスライスレベル設定部(18)と,該ウインドウ領域から該ボンディングボールスライスレベル以下の領域を検出するボンディングボール検出部(19)とを有することを特徴とするボンディングワイヤの外観検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06K 9/58
, H01L 21/60 321
, H01L 21/66
