特許
J-GLOBAL ID：200903036140867640
表面観察方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-067718
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248332
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 探針の先端の縦方向において直交する2つの断面のみではなく任意の縦方向の断面形状を測定できるようにする。【構成】 走査型トンネル顕微鏡において、標準試料台6上の微小な球形状の標準試料である金コロイド粒子6aを探針1により計測する。金コロイド粒子6aに対して探針1がどの方向からトレースしても、そのトレースする金コロイド粒子6aの断面はほぼ円形となるので、その計測結果をシミュレーション結果と比較することにより、探針1の3次元形状を高精度に測定することができ、顕微鏡の測定精度の把握及び測定精度の向上が可能になる。
請求項（抜粋）：
探針と試料間に作用する物理力を検出することにより試料表面形状を観察する表面観察方法において、前記探針の形状を微小な球形状の標準試料を計測することにより検出することを特徴とする表面観察方法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
