特許

J-GLOBAL ID：200903036151942199

冷却通電機能を有する電子顕微鏡装置及びこの装置による超電導電流分布測定方法

発明者： 一瀬 中 ,  石田 政義
出願人/特許権者： 財団法人電力中央研究所
代理人 (1件)： 大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229662
公開番号（公開出願番号）：特開平7-065770
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】試料の冷却状態および通電状態における試料の変化の状況を観測可能な電子顕微鏡装置と、この電子顕微鏡装置による超電導材料の超電導電流分布測定方法に関する。【構成】電子顕微鏡装置の観測試料を冷却する手段および当該試料に電流を通じる手段を備えた電子顕微鏡装置と、この電子顕微鏡装置における試料の冷却温度および通電電流値並びに印加磁束密度を変化せしめ、当該試料に入射される電子線の当該試料における曲がりの大きさおよび方向から超電導電流値と電流方向もしくはそれらの分布を測定する方法とからなる。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に入射させて、その電子線の透過電子線または反射電子線もしくは他の発生する電子線信号の強度を検出して像を得る電子顕微鏡装置において、前記試料を冷却する手段および前記試料に電流を通じる手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡装置。