特許

J-GLOBAL ID：200903036154818340

半導体装置およびその製造方法

発明者： 勝 又 康 弘
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089178
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274388
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 可及的に高性能な半導体装置を得ることを可能にする。【解決手段】 半導体基板101の半導体領域に形成された拡散層110と、半導体基板上に形成された電極108aと、拡散層上に、選択的に形成されたエピタキシャル半導体層113、113aと、を備え、このエピタキシャル半導体層は電極に直接に接続しているように構成されたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板の半導体領域に形成された拡散層と、前記半導体基板上に形成された電極と、前記拡散層上に、選択的に形成されたエピタキシャル半導体層と、を備え、このエピタキシャル半導体層は前記電極に直接に接続しているように構成されたことを特徴とする半導体装置。

IPC (11件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/8222 ,  H01L 27/06 ,  H01L 21/8249 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 21/331 ,  H01L 29/73 ,  H01L 29/786

FI (14件)：

H01L 21/28 301 T ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 27/06 101 U ,  H01L 27/06 321 F ,  H01L 27/06 321 E ,  H01L 27/06 321 B ,  H01L 27/08 321 F ,  H01L 27/08 321 N ,  H01L 29/72 ,  H01L 29/78 301 S ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 616 U ,  H01L 29/78 617 J ,  H01L 29/78 617 L

Fターム (117件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB20 ,  4M104BB25 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD46 ,  4M104DD64 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE17 ,  4M104FF14 ,  4M104FF30 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG15 ,  4M104HH14 ,  4M104HH15 ,  5F003AZ03 ,  5F003BA27 ,  5F003BB07 ,  5F003BB08 ,  5F003BC01 ,  5F003BH07 ,  5F003BJ15 ,  5F003BN01 ,  5F003BP33 ,  5F003BP34 ,  5F003BS05 ,  5F003BS06 ,  5F003BS08 ,  5F040DA01 ,  5F040DB03 ,  5F040DB07 ,  5F040DC01 ,  5F040EB12 ,  5F040EC07 ,  5F040ED04 ,  5F040EF02 ,  5F040EH02 ,  5F040EK01 ,  5F040EK05 ,  5F040FA07 ,  5F040FB02 ,  5F040FC06 ,  5F040FC10 ,  5F040FC19 ,  5F048AC03 ,  5F048AC07 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB11 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF16 ,  5F048BG01 ,  5F048BG14 ,  5F048CA04 ,  5F048CA13 ,  5F048CA14 ,  5F048DA13 ,  5F048DA18 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F082AA06 ,  5F082BA05 ,  5F082BA29 ,  5F082BC01 ,  5F082BC09 ,  5F082DA03 ,  5F082DA09 ,  5F082EA07 ,  5F082EA15 ,  5F082EA24 ,  5F110AA02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110EE15 ,  5F110EE32 ,  5F110EE33 ,  5F110EE42 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF23 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG32 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK05 ,  5F110HK09 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK40 ,  5F110HM15 ,  5F110NN62 ,  5F110NN71 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17