特許
J-GLOBAL ID:200903036159257878

電子源構造体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 正康
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-196845
公開番号(公開出願番号):特開平11-040043
出願日: 1997年07月23日
公開日(公表日): 1999年02月12日
要約:
【要約】【課題】 放出電子の放出密度が均一な電子源構造体を提供するにある。【解決手段】 電子を放出する素子としての電子源構造体において、絶縁性の基板と、該基板の一面に一面が接して設けられ導電性を有する陰極と、該陰極を覆って設けられた絶縁膜と、該絶縁膜を覆って設けられ放出電子の放出効率と放出密度の均一性が確保される様に設けられたLB膜からなる陽極とを具備したことを特徴とする電子源構造体である。
請求項(抜粋):
電子を放出する素子としての電子源構造体において、絶縁性の基板と、該基板の一面に一面が接して設けられ導電性を有する陰極と、該陰極を覆って設けられた絶縁膜と、該絶縁膜を覆って設けられ放出電子の放出効率と放出密度の均一性が確保される様に設けられたLB膜からなる陽極とを具備したことを特徴とする電子源構造体。
IPC (2件):
H01J 1/30 ,  H01L 29/66
FI (2件):
H01J 1/30 M ,  H01L 29/66

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