特許
J-GLOBAL ID：200903036164027260
マグネトロンスパツタ電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059542
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、ターゲット材の侵食を均一にし、ターゲット材の利用効率の高いマグネトロンスパッタ電極を提供すとともに、ターゲットに対向する基板への成膜速度の均一化を図ることにある。【構成】 マグネトロンスパッタ電極において、電子を閉じ込める領域に面したターゲット材を、互いに電気的に絶縁された複数の平板ターゲット6a,6b,6cに分割して配置し、これら複数のターゲット6a,6b,6cごとに、独立に異なる電力を印加しうる複数の直流電源7a,7b,7cを設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
表面が被スパッタ物質からなるターゲット材と、該ターゲット材から出て該ターゲット材に戻る磁力線を発生させる磁場形成手段とを有し、磁力線と該ターゲット材とで囲まれる領域に電子を閉じ込めてスパッタを行うようにしたマグネトロンスパッタ電極において、電子を閉じ込める領域に面した前記ターゲット材を、互いに電気的に絶縁された複数のターゲット材に分割して配置したことを特徴とするマグネトロンスパッタ電極。
引用特許：
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