レーザ分光分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-091592
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274507
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】安価で、安定なレーザ分光分析装置を実現する。【解決手段】波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御することを特徴とするレーザ分光分析装置。

IPC (4件)：

G01N21/39 , G01J3/10 , G01J3/26 , H01S5/0687

FI (4件)：

G01N21/39 , G01J3/10 , G01J3/26 , H01S5/0687

Fターム (34件)：

2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020CA02 , 2G020CB04 , 2G020CB23 , 2G020CB51 , 2G020CC23 , 2G020CC47 , 2G020CD03 , 2G020CD13 , 2G020CD24 , 2G020CD36 , 2G020CD37 , 2G020CD39 , 2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059EE01 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG05 , 2G059GG09 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 5F173SC10 , 5F173SE01 , 5F173SF03 , 5F173SF33 , 5F173SF43 , 5F173SF46 , 5F173SF52 , 5F173SF65

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭63-113346

引用文献：

審査官引用 (2件)

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