特許

J-GLOBAL ID：200903036184546396

有機EL素子製造に用いる真空蒸着用多面付けマスク装置

発明者： 土屋 輝直
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-142179
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332057
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 有機EL素子製造における真空蒸着を生産性良く且つ高精細パターニングで実施可能なマスク装置を提供する。【解決手段】 ベースプレート12に、縦横に所定サイズのウインドウ21を複数個ずつ備えた第一金属マスク13を固定し、更にその上に、ウインドウ21の横方向の各列に対応する帯状の領域に、多数の縦方向に並んだ微小なスリットを微小間隔で配列した構成のすだれ部23を形成した第二金属マスク14を重ねることで、縦横に複数個ずつの有効マスク部を形成し、更に第二金属マスク14にスライダ26と圧縮コイルばねによって張力を付与し、すだれ部のスリットを真っ直ぐで且つ所定のピッチに維持する構成とする。この第二金属マスク14の上に基板を配して蒸着を行うことで、基板に高精細なパターンを多面付けで形成することができる。

請求項（抜粋）：

所定サイズの有効マスク部を縦横に複数列ずつ配置した構成の真空蒸着用多面付けマスク装置であって、少なくとも前記有効マスク部に対向する領域をその有効マスク部よりも大きい開口としたベースプレートと、そのベースプレート上に重ねて配置される第一金属マスク及び第二金属マスクと、該第二金属マスクを縦方向に引っ張った状態に保持するマスク引張保持手段を備え、前記第一金属マスクを、前記有効マスク部の横方向のサイズに等しい幅のウインドウを、少なくとも第一金属マスクの横方向に間隔をあけて配列した構成とし、前記第二金属マスクを、縦方向のサイズが前記有効マスク部の縦方向のサイズと同等若しくはそれよりわずかに大きく、横方向のサイズは前記第二金属マスクの横方向の幅にほぼ等しい帯状の領域に、第二金属マスクの縦方向に延びる多数の微小なスリットを微小間隔で配列して構成したすだれ部を、第二金属マスクの縦方向に間隔をあけて配置した構成とし、前記第一金属マスクのウインドウと前記第二金属マスクのすだれ部との互いに重なる領域で有効マスク部を形成したことを特徴とする、有機EL素子製造における真空蒸着用多面付けマスク装置。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H05B 33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04