特許
J-GLOBAL ID：200903036186877268
透過型近接場走査型顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027180
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 被観察試料に応じて最適の照明を行ない、照明光の光パワーの利用度を向上させるとともに、観察感度を向上させる。【構成】 試料台上に載置した試料の観察点に該試料を介して裏面から直線偏光の光を照射する光照明手段と、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブ手段とを備えた透過型近接場走査型顕微鏡において、前記試料台として照明光の入射側端面および出射側端面がほぼ前記試料の観察点を中心とする球面または円柱面となっているものを使用する。
請求項（抜粋）：
試料台上に載置した試料の観察点に該試料台を介して裏面から照明光を照射する光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブ手段とを備えた透過型近接場走査型顕微鏡であって、前記試料台は照明光の入射側端面および出射側端面がほぼ前記試料の観察点を中心とする球面または円柱面であることを特徴とする透過型近接場走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
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