特許
J-GLOBAL ID：200903036193325378
マイクロレンズの加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205704
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048354
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】 曲面を持つマイクロレンズを精度良く製造することができる加工方法を提供すること。【解決手段】 第1の工程では、円形の遮光パターン11を有する第1のマスク10を用いて基板20上の感光性の樹脂材料30に露光を行い、露光された部分を除去して前記基板上に円柱状のレンズ基体31を形成する。第2の工程では、第2のマスク40を用いて前記レンズ基体に斜め方向に光が進入するような露光を行い、前記光の進入角度を変えつつ露光を繰り返すことにより、前記レンズ基体の周囲を徐々に除去して、前記基板上にマイクロレンズの形状に近い上方に凸の多角形状の突起を形成する。第3の工程では、前記基板上の突起を加熱して収縮させることにより突起の周囲を曲面にする。
請求項（抜粋）：
円形あるいは多角形のマスクパターンを有する第1のマスクを用いて基板上の感光性の樹脂材料に露光を行い、露光された部分を除去して前記基板上に円柱あるいは多角柱状のレンズ基体を形成する第1の工程と、前記基板との間の相対的位置関係が可変の第2のマスクを用いて前記レンズ基体に斜め方向に光が進入するような露光を行い、前記光の進入角度を変えつつ露光を繰り返すことにより、前記レンズ基体の周囲を徐々に除去して、前記基板上にマイクロレンズの形状に近い上方に凸の多角形状の突起を形成する第2の工程と、前記基板上の突起を加熱して収縮させることにより突起の周囲を曲面にする第3の工程とを含むことを特徴とするマイクロレンズの加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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