特許

J-GLOBAL ID：200903036197026537

ペリクル用接着剤およびそれを用いたペリクル

発明者： 永田 愛彦 ,  樫田 周 ,  松田 高至
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249285
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】接着強度が高く、光劣化することがなく、ペリクル膜にダメージを与えることがないと共に寿命が長く高性能なペリクル用接着剤さらに、それを用いてペリクル膜をペリクル枠に接着したペリクルの提供。【解決手段】接着剤の主成分が、下記一般式[1]で表されるパーフルオロポリエーテル化合物Eまたはこの化合物Eと増感剤から成る組成物であることを特徴とするペリクル用接着剤。(ただし、Rfは炭素数1〜30のパーフルオロアルキル基またはパーフルオロオキシアルキル基。Aは2価の有機基で途中にヘテロ原子を含む結合を有していてもよい。R1は炭素数1〜8の1価の炭化水素基であり、mは0〜2の正の整数である。また、nは1〜3の正の整数であり、m+nは3以下である。Xは加水分解性基である。)

請求項（抜粋）：

ペリクル膜とペリクル枠を接着するペリクル用接着剤において、該接着剤の主成分が、下記一般式[1]で表されるパーフルオロポリエーテル化合物Eまたは該パーフルオロポリエーテル化合物Eと増感剤から成る組成物であることを特徴とするペリクル用接着剤。【化1】(ただし、Rfは炭素数1〜30のパーフルオロアルキル基またはパーフルオロオキシアルキル基。Aは2価の有機基で途中にヘテロ原子を含む結合を有していてもよい。R1 は炭素数1〜8の1価の炭化水素基であり、mは0〜2の正の整数である。また、nは1〜3の正の整数であり、m+nは3以下である。Xは加水分解性基である。)

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  C09J 4/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 1/14 J ,  G03F 1/14 K ,  C09J 4/02 ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 G