特許
J-GLOBAL ID:200903036199879189

放射温度検出器および放射温度検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-008450
公開番号(公開出願番号):特開2000-205964
出願日: 1999年01月14日
公開日(公表日): 2000年07月28日
要約:
【要約】【課題】 視野内の感度分布を平坦化して、視野内の位置による計測誤差を低減する。【解決手段】 赤外線透過窓9の表面に赤外線の透過率を減少させる透過率減少手段として金属薄膜11を形成する。金属薄膜11は、例えば4層構造とし、蒸着装置を用いて作製する。この場合、赤外線透過窓9の中心部、すなわち赤外線検出素子4の視野の中心部から周辺部へ向かって膜厚が段階的に薄くなるように金属薄膜11を形成する。これにより、金属薄膜11がフィルタとなって、視野内の感度分布が平坦化され、すなわち視野の中心付近の感度が低下して周辺部のレベルに合わせられ、視野内の熱源の位置によらず、常に同等の計測値が得られるようになる。
請求項(抜粋):
赤外線検出素子と、この赤外線検出素子への赤外線を透過させる赤外線透過手段と、前記赤外線検出素子への赤外線の透過率を減少させる透過率減少手段とを備えたことを特徴とする放射温度検出器。
Fターム (7件):
2G066AC09 ,  2G066BA01 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA30 ,  2G066BA51 ,  2G066BA55
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-047063

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