特許
J-GLOBAL ID：200903036201479614
ハイブリッド光導波回路
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-155900
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035932
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 電気信号の伝搬損失を低減することによって高周波特性が改善され、しかも製造が容易で生産歩留まりも良いハイブリッド光導波回路を得る。【構成】 ハイブリッド光導波回路が、半導体光導波回路部30と、基板10の表面近傍に誘電体光導波回路部20とを有し、この基板10の少なくとも一方の表面近傍に、上記半導体光導波回路部30を作動する電気信号回路部70が配設され、この電気信号回路部70が、信号伝搬用の中心導体41とこの両側に一定のギャップを隔てて配設されたアース導体42とを同一平面内に有する配線層40と、これに接する絶縁層50と、この絶縁層50を介して上記配線層40と異なる平面内に設けられ、上記中心導体41と対向する面を有する少なくとも1層のアース導体層60とを有してなる。
請求項（抜粋）：
半導体光導波路を有する半導体光導波回路部と、基板の表面近傍に誘電体光導波路を有する誘電体光導波回路部とを組合わせて構成したハイブリッド光導波回路において、上記基板の少なくとも一方の表面近傍に、上記半導体光導波回路部を作動する電気信号回路部が配設され、この電気信号回路部が、信号伝搬用の中心導体とこの両側に一定のギャップを隔てて配設されたアース導体とを同一平面内に有する配線層と、これに接する絶縁層と、この絶縁層を介して上記配線層と異なる平面内に設けられ上記中心導体と対向する面を有する少なくとも1層のアース導体層とを有するものであることを特徴とするハイブリッド光導波回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 J
, G02B 6/12 M
