基板処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田幸春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343804
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243128
出願日： 1989年02月07日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【目的】ウエハー等の処理基板を複数の所定の処理部へ搬出し、所定の処理を施す基板処理装置において、当該基板を各処理部に所望に任意に搬出入してスループット的にも処理手順を任意に設定できるようにする。搬出入機構部120からウエハーW保持搬送機構112のピンセットにより取り出して、搬出入機構部120から接続されている搬送径路102に設けられた保持搬送機構110の搬送ハンドのピンセット112又は、113によりバトンタッチ的に受け渡しし、保持搬送機構110が搬送径路102の両側に設けられて垂直方向に複数並べ、且つ、床面に沿った方向に複数並べた処理部に相互に独立的に又、排反的に或いは、スループット的に搬出入の順序を一連の組み合わせられる処理手順により任意に設定できるようにして受渡しし、所定の処理が適正に行われるようにする。【効果】被処理基板に対する処理を必要な処理部に対して当該必要な処理のみを行いスループット的に処理手順が任意に設定でき、適正製品に対する最適処理が行われる。

請求項（抜粋）：

被処理基板の収納カセットを有する該被処理基板に対する搬出入機構部から複数の処理部への搬送経路が接続して延設されている基板処理装置において、レジスト塗布部、レジスト現像部、加熱部、又は冷却部の内のいくつかの装置構成部を有し、上記いくつかの装置構成部を床面に垂直な方向に複数並べて配置したものを床面に沿った方向に複数並べて配置し、被処理基板を保持して搬送するための前後、左右、上下の各方向に移動可能な搬送ハンドのピンセットを有し、該搬送ハンドを介した上記いくつかの装置構成部に対する該被処理基板の搬出入の順序を一連の組み合わせられる処理手順により任意に設定できるようにしたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭52-027367
特開昭62-078828
特開昭61-123150

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