特許

J-GLOBAL ID：200903036210324755

反射防止膜及びそれを用いた光学部材

発明者： 鈴木 雅隆
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199526
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014204
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 光学部品に施される可視域(およそ波長400〜800nm)用の多層膜を用いた反射防止膜及びそれを用いた光学部材を得ること。【解決手段】 透明な基板面上に該基板側から空気側へ向かって順にある一定の膜厚を基調とした第1、第2、第3、第4、第5、第6の6つのグループ層により形成され、各々のグループ層は単一あるいは複数の薄膜層から形成され、そのグループ層の各々の膜厚は425nm<λ<SB>l</SB><460nm、565nm<λ<SB>2</SB><580nm、500nm<λ<SB>3</SB><535nm、430nm<λ<SB>4</SB><445nm、450nm<λ<SB>5</SB><470nm、540nm<λ<SB>6</SB><555nmとしたとき、第1グループ層がλ<SB>1</SB>/4、第2グループ層がλ<SB>2</SB>/2、第3グループ層がλ<SB>3</SB>/2、第4グループ層がλ<SB>4</SB>/2、第5グループ層がλ<SB>5</SB>/4、第6グループ層がλ<SB>6</SB>/4から成ること。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 透明な基板面上に該基板側から空気側へ向かって順にある一定の膜厚を基調とした第1、第2、第3、第4、第5、第6の6つのグループ層により形成された反射防止膜であって、各々のグループ層は単一あるいは複数の薄膜層から形成され、そのグループ層の各々の膜厚は425nm<λ<SB>l</SB><460nm565nm<λ<SB>2</SB><580nm500nm<λ<SB>3</SB><535nm430nm<λ<SB>4</SB><445nm450nm<λ<SB>5</SB><470nm540nm<λ<SB>6</SB><555nmとしたとき、該第1グループ層がλ<SB>1</SB>/4、該第2グループ層がλ<SB>2</SB>/2、該第3グループ層がλ<SB>3</SB>/2、該第4グループ層がλ<SB>4</SB>/2、該第5グループ層がλ<SB>5</SB>/4、該第6グループ層がλ<SB>6</SB>/4から成ることを特徴とする反射防止膜。

IPC (4件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08

FI (4件)：

B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/08 N ,  G02B 1/10 A

Fターム (40件)：

2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  4F100AA05E ,  4F100AA19B ,  4F100AA19C ,  4F100AA19D ,  4F100AA19E ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA20D ,  4F100AA20E ,  4F100AA21B ,  4F100AA21C ,  4F100AA21D ,  4F100AA21E ,  4F100AA27B ,  4F100AA27C ,  4F100AA27D ,  4F100AA27E ,  4F100AR00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100GB90 ,  4F100JN01A ,  4F100JN06 ,  4F100JN18A ,  4F100YY00A ,  4K029BA42 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA01