特許
J-GLOBAL ID：200903036211420596
気密高周波窓の誘電体円板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308304
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119087
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 気密高周波窓における誘電体円板の比誘電率および誘電正接を、誘電体円板を円形導波管に取り付けたままで検査し、良否の判定を可能にする。【構成】 円形導波管2内の誘電体円板3対しプローブ4a,4bを対向配置して、この円形導波管2を励振させるとともに、これのゴーストモード共振用周波数およびQ値の変化を検出させ、この検出結果に従って、アナライザにその誘電体円板3の比誘電率および誘電正接を求めさせる。
請求項（抜粋）：
方形導波管の途中に形成された円形導波管と、該円形導波管内にこれを気密封止するように取り付けられて、気密高周波窓を形成する誘電体円板と、該誘電体円板の一側または両側に対向配置されて、該誘電体円板を励振し、かつこれのゴーストモード共振周波数およびQ値の変化を検出する1つまたは複数のプローブと、該プローブを通じて得られるゴーストモード共振周波数およびQ値の変化にもとづき、上記誘電体円板の比誘電率および誘電正接を求めるアナライザとを備えた気密高周波窓の誘電体円板検査装置。
IPC (3件)：
G01R 27/26
, G01N 27/22
, H01P 1/08
