特許

J-GLOBAL ID：200903036212341061

ウエハ整列装置

発明者： 高橋 清 ,  高橋 和夫
出願人/特許権者： 高橋 清 ,  高橋 和夫
代理人 (1件)： 大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135310
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 キャリヤ内のウエハを位置決め部が上向き又は下向きに整列させるウエハ整列装置を、操作が容易且つ確実で安価に提供する。【解決手段】 ウエハ4を収納したキャリヤの開放底部側に回転ローラ15とウエハ整列板20を並設し、その何れか一方を昇降移動させて相対的な高さ位置を可変させる昇降手段を設け、回転ローラ15が上方にある第1位置では下面に当接した回転ローラ15でウエハ4が回転駆動され、両者がほぼ同じ高さ位置にある第2位置では位置決め部6の下面が当接したウエハ4はウエハ整列板20で回転が係止される状態にし、昇降手段はモータに連動して回転駆動されるカム体25で構成され、カム体25にはウエハを下向きに整合させる第1カム面と、ウエハを上向きに整合させる第1及び第2カム面を備え、両カム面を切り換え選択可能にした。

請求項（抜粋）：

垂直方向へ延在する櫛歯状溝を両側壁に対向して設けたキャリヤに対して、位置決め部を備えた多数のウエハを並列に収納させ、上記キャリヤを載置台に載せて上記キャリヤの開放底部に隣接配備した回転ローラで上記ウエハを回転駆動させ、上記位置決め部を上向き又は下向きに整合させるウエハ整列装置において、上記キャリヤの開放底部側には、モータで回転駆動される上記回転ローラと、当該回転ローラの長手方向と平行するウエハ整列板を並設させ、上記回転ローラと上記ウエハ整列板の何れか一方を昇降移動させて相対的な高さ位置を可変させる昇降手段を設け、上記昇降手段によって上記回転ローラが上記ウエハ整列板より上方にある第1位置では、ウエハの下面に当接した回転ローラで当該ウエハが回転駆動され、上記回転ローラと上記ウエハ整列板とがほぼ同じ高さ位置にある第2位置では、非位置決め部の下面が当接したウエハは回転ローラで回転駆動されると共に、位置決め部の下面が当接したウエハは回転ローラに隣接する上記ウエハ整列板で回転が係止される状態にし、上記昇降手段は上記モータに連動して回転駆動される揺動回転用のカム体で構成され、当該カム体には上記ウエハを下向きに整合すべく上記回転ローラ又は上記ウエハ整列板の高さ位置を可変させる第1カム面と、上記ウエハを上向きに整合すべく上記回転ローラ又は上記ウエハ整列板の高さ位置を可変させる第2カム面とを備え、上記第1カム面と上記第2カム面を切り換え選択可能にしたことを特徴とするウエハ整列装置。