特許

J-GLOBAL ID：200903036214457121

基板処理装置の接続状況管理システム

発明者： 中野 稔
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 特許業務法人アイ・ピー・エス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257187
公開番号（公開出願番号）：特開2008-078458
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】メンテナンス性を向上させることができる基板処理装置の接続状況管理システムを提供する。 【解決手段】接続状況管理システム300は、ウエハ200を処理する複数の基板処理装置100のそれぞれに設けられ、それぞれの基板処理装置100を制御する装置コントローラ270と、各基板処理装置100の各装置コントローラ270に、LANケーブル292、ハブ293を介して電気的に接続されたモニタサーバ280とを有する。モニタサーバ280は、少なくとも各基板処理装置100とモニタサーバ280との間のLANケーブル292、ハブ293を介した接続状況を表示する表示画面314と、少なくともモニタサーバ280、各基板処理装置100、LANケーブル292、ハブ293のうちの何れかの要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する表示画面314とを有する。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

基板を処理する複数の基板処理装置のそれぞれに設けられ、それぞれの基板処理装置を制御する装置コントローラと、 前記各基板処理装置の前記各装置コントローラに、通信回線、集線装置を介して電気的に接続されたモニタサーバと、 を有し、 前記モニタサーバは、少なくとも前記各基板処理装置と前記モニタサーバとの間の通信回線、集線装置を介した接続状況を表示する接続状況表示手段と、少なくとも前記モニタサーバ、前記各基板処理装置、通信回線、集線装置のうちの何れかの要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する詳細接続状況表示手段と、を有することを特徴とする基板処理装置の接続状況管理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/30 562 ,  H01L21/31 E

Fターム (6件)：

5F045AA20 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045GB15 ,  5F046AA28 ,  5F046DD01