特許
J-GLOBAL ID：200903036229949217
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042451
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142558
出願日： 1983年01月08日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 高速で且つ高精度な移動を可能にするステージ装置の提供。【構成】 基準となる面を備える基盤と、該基盤上に載置されるステージと、該ステージを該基盤の基準となる面に対して所定方向に移動させるためのガイド部と、該ステージを該ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する駆動源と、該駆動源が発生する駆動力を該ステージに伝達する伝達部とを有するステージ装置において、前記ステージ、ガイド部、及び伝達部の材質をセラミツクスとしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基準となる面を備える基盤と、該基盤上に載置されるステージと、該ステージを該基盤の基準となる面に対して所定方向に移動させるためのガイド部と、該ステージを該ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する駆動源と、該駆動源が発生する駆動力を該ステージに伝達する伝達部とを有し、前記ステージ、ガイド部、及び伝達部の材質をセラミツクスとしたことを特徴とするステージ装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, H01L 21/02
, H01L 21/60 301
, B23Q 5/40
, F16H 25/22
, F16H 25/24
