特許

J-GLOBAL ID：200903036235666979

X線露光装置

発明者： 須藤 正昭 ,  上田 勝宣
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-264639
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109607
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【構成】 この発明のX線露光装置は、シンクロトロン放射光源としての蓄積リング1から放射されるシンクロトロン放射光Lを、振動する多層膜反射鏡7で反射させて上記放射光を拡大し、X線マスクを介してレジスト4が塗布された被加工物3に照射するものである。【効果】 反射鏡および反射鏡の振動機構を小型化することができるから、反射鏡の基板加工や反射鏡の振動制御ひいては装置全体の構成の簡単化を図ることができるという効果がある。

請求項（抜粋）：

シンクロトロン放射光源から放射されるシンクロトロン放射光を振動する反射鏡で反射させ、X線マスクを介してレジストが塗布された被加工物に照射させるX線露光装置において、上記反射鏡は多層膜反射鏡であることを特徴とするX線露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521