特許
J-GLOBAL ID：200903036242309308
2次元光走査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135030
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329181
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 外乱の影響が小さく、光走査周期が適度な長さを有する光走査装置を提供する。【構成】 鏡面を有するミラー部2と、ミラー部2の外周に設けられたフレーム16と、ミラー部2とフレーム16とを連結し、ミラー部2の重心位置を通過する軸を中心として捩じれ振動するスプリング14と、フレーム16の外周に設けられたフレーム15と、フレーム16とフレーム15とを連結し、ミラー部2の重心位置を通過する軸を中心として捩じれ振動するスプリング13と、スプリング14とスプリング13とに捩じれ振動を生じさせる圧電バイモルフ21〜24とを備える。各スプリング13、14はミラー部2の重心位置を通過する軸を中心軸として捩じれ振動するとともに、折り返し蛇行部131、141を有するから捩じれ振動の共振周波数が十分低い。
請求項（抜粋）：
光反射面を有するミラー部と、このミラー部に対して所定の隙間を介して設けられた第1の保持部材と、前記ミラー部と前記第1の保持部材とを連結させると共に、固有の周期的な外力が作用するときに捩じれ、この捩じれの回転角に応じた大きさで前記捩じれの方向とは逆方向に回転トルクが発生するような弾性体から構成され、前記ミラー部の重心を通る軸を中心軸として前記ミラー部を強制振動させる第1の捩じれ振動部材と、前記第1の保持部材に対して所定の隙間を介して設けられた第2の保持部材と、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材とを連結させると共に、固有の周期的な外力が作用するときに捩じれ、この捩じれの回転角に応じた大きさで前記捩じれの方向とは逆方向に回転トルクが発生するような弾性体から構成され、前記ミラー部の重心を通る軸を中心軸として前記第1の保持部材を介して前記ミラー部を強制振動させる第2の捩じれ振動部材と、前記第1及び第2の捩じれ振動部材に各々前記固有の周期的な外力を作用させる加振手段と、を備えかつ、前記第1及び第2の捩じれ振動部材を、少なくとも一部に折り返し蛇行部を有する形状に成形したことを特徴とする2次元光走査装置。
FI (2件)：
G06K 7/10 D
, G06K 7/10 R
