特許
J-GLOBAL ID：200903036242662091
光学部材の検査用干渉計装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130040
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317413
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 反射防止コーティングを施した後においても、検査が行われるレンズその他の光学部材の表面形状及び光学性能の検査を行えるようにする。【構成】 600〜700nmで反射率がほぼ0となる反射防止コーティングが施されている被検レンズ7の検査を行うに当って、第1のレーザ発振器1aは透過波長域のレーザ光を出射するHe-Neレーザを用い、第2のレーザ発振器1bでは一部が反射する波長域のレーザ光を出射するArレーザを用い、レーザ発振器1a,1bからの光路にシャッタ12a,12bを設けて、基準レンズ6に入射される光の波長を選択する。シャッタ12aを開放すると、第1のレーザ発振器1aからのレーザ光の一部がこの基準レンズ6の基準面6aに反射し、他の一部は基準面6aから被検レンズ7を透過して、反射板10で反射して、基準レンズ6の基準面6aで反射した光との波面が重なり合った干渉縞が結像する。
請求項（抜粋）：
特定の波長領域光の反射を防止するコーティングを施した光学部材を検査するために、この反射防止コーティングの透過波長領域で発振する第1のレーザ光源と、反射波長領域で発振する第2のレーザ光源と、これら2つの光源からのレーザ光が選択的に入射されて、この入射光の一部を反射させ、他の一部を透過させる基準面と、被検光学部材からの透過光を反射させる基準反射部材とを備え、前記第1のレーザ光源からの光が被検光学部材を透過して基準反射部材で反射した透過光波面と基準面からの反射光の波面との間で生じる干渉縞像と、第2のレーザ光源からの光が被検光学部材の表面で反射した反射光波面と基準面からの反射光の波面との間で生じる干渉縞像とを観測可能な構成としたことを特徴とする光学部材の検査用干渉計装置。
IPC (2件)：
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