特許
J-GLOBAL ID：200903036254359122
弾性表面波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239189
公開番号（公開出願番号）：特開平5-083078
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 数百MHzから数GHzに動作周波数を持ち、特に高い動作周波数を選択的に使用できる高効率の、ダイヤモンドを用いた弾性表面波素子を提供することを目的とする。【構成】 ダイヤモンド層あるいは基板層とダイヤモンド層と、ZnO圧電体膜層とダブルスプリット電極及び表面短絡用電極からなる弾性表面波素子において、ZnOの膜厚の範囲を波長との関係で規定し、同時に弾性表面波のモードを特定する。【効果】 電極における弾性表面波の散乱が小さく、伝搬速度及び電気機械結合係数が大きい弾性表面波素子が得らるので、数100MHzから数GHz帯の高周波領域で動作する弾性表面波素子を容易に提供することが出来る。帯域通過フィルター、共振器、発振器、コンボルバー等に好適である。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層あるいは基板上に形成したダイヤモンド層からなる誘電体層の上にダブルスプリット電極を配置し、その上にZnO層を積層して成る弾性表面波素子において、ZnO層の厚みをH、弾性表面波の波長をλとして、(2π・H/λ)の値が、(2π・H/λ)=0.15〜0.5を満たす構造で励起される、弾性表面波の0次モードあるいは0次モードの3倍高調波を利用する事を特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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