特許

J-GLOBAL ID：200903036263442172

表面状態検査方法

発明者： 河野 道生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-300680
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226900
出願日： 1987年08月31日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】 レチクルやペリクル面上に付着したゴミ等の異物を高精度に検出することのできる表面状態検査方法を得ること。【解決手段】 互いに異なる方向に延びる複数のパターンを備える基板の表面を照明光で照明し、該照明によって基板表面から発生する回折光と散乱光のうち検出方向に生じる光を検出することによって基板の表面状態を検査する方法において、基板表面の検査位置に対して複数の検査状態を設定し、該複数の検査状態のそれぞれで前記検出方向に生じる光がある場合に、検査位置に異物があると判断すること。

請求項（抜粋）：

互いに異なる方向に延びる複数のパターンを備える基板の表面を照明光で照明し、該照明によって基板表面から発生する回折光と散乱光のうち検出方向に生じる光を検出することによって基板の表面状態を検査する方法において、基板表面の検査位置に対して複数の検査状態を順次設定し、該複数の検査状態のそれぞれで前記検出方向に生じる光がある場合に、検査位置に異物があると判断することを特徴とする表面状態検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/47 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/88 E ,  G01N 21/88 F ,  G01N 21/47 A ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-011142
  
• 特開昭61-137050