特許
J-GLOBAL ID：200903036264030862

透明ガスバリア基板

発明者：
松村 英樹

松村 英樹 について

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小川 洋平

小川 洋平 について

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上田 陽一

上田 陽一 について

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松見 泰夫

松見 泰夫 について


出願人/特許権者：
国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 について

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住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-254457
公開番号（公開出願番号）：特開2007-062305
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】 液晶素子表示体又は有機EL素子表示体に係る部材として、好適な水蒸気バリア性を有し、且つ、液晶素子表示体又は有機EL素子表示体の製造プロセスによって水蒸気バリア性の劣化が少ない透明ガスバリア基板を提供する。【解決手段】下記の透明ガスバリア基板を提供する。[1]透明樹脂基板の片面又は両面に、酸窒化ケイ素層及び窒化ケイ素層が、この順に積層されてなる透明ガスバリア基板。[2]酸窒化ケイ素層が、ラザフォード後方散乱法(RBS法)で観測される酸素の元素比率をx、窒素の元素比率をyとしたとき、0.30≦x/(x+y)≦0.90で示される条件を満たすものである、前記[1]記載の透明ガスバリア基板。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
透明樹脂基板の片面又は両面に、酸窒化ケイ素層及び窒化ケイ素層が、この順に積層されてなる透明ガスバリア基板。
IPC (3件)：
B32B 9/00 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/44
FI (3件)：
B32B9/00 A ,  C23C16/42 ,  C23C16/44 A
Fターム (26件)：
4F100AA12B ,  4F100AK02A ,  4F100AK42A ,  4F100AK53A ,  4F100AK54A ,  4F100AL01A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100GB41 ,  4F100JD02 ,  4F100JD04 ,  4F100JK14 ,  4F100JL08 ,  4F100JN01A ,  4F100YY00B ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030AA17 ,  4K030BA38 ,  4K030BA40 ,  4K030BA42 ,  4K030BA48 ,  4K030CA07 ,  4K030CA17 ,  4K030FA10 ,  4K030FA17
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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