特許
J-GLOBAL ID：200903036265099378
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-217088
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046560
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 振動子の連続振動を安定なものとし、角速度の検出精度を向上する。【解決手段】 点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子(2,3)、点Oに関して対称であって、x振動子(2,3)に連続し、少なくともx方向に撓む連結梁(11,14)、連結梁(11,14)に連続し、点Oと連結梁との間に点Oに関して対称な支持梁(4)、点Oからx方向に離れ、点Oに関して対称な検出振動子(5/6)、検出振動子(5/6)に連続し、x振動子内に設けられ、点Oに関して対称な補強梁(7,8)、点Oにおいて支持梁(4)を支持するアンカーを備えた。
請求項（抜粋）：
x,y平面上の一点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子、x,y平面に分布し、点Oに関して対称であって、対のx振動子のそれぞれに連続し、少くともx方向に撓む連結梁、連結梁に連続し、点Oと連結梁との間にx,y方向に撓み可撓梁を含む、点Oに関して対称な支持梁、点Oからx方向に離れ、点Oに関して対称な検出振動子、検出振動子に連続し、x振動子内に設けられ、点Oに関して対称な補強梁、点Oにおいて支持梁を支持するアンカー、とを備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F105AA02
, 2F105BB03
, 2F105BB04
, 2F105BB09
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 2F105CD20
