特許
J-GLOBAL ID：200903036274154250
吸着装置および描画装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-232879
公開番号（公開出願番号）：特開2007-048998
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：
【課題】 幅寸法の異なる複数種類のTABテープを確実に吸着することが可能な、吸着装置50を提供する。【解決手段】 複数種類のテープの吸着面を構成する多孔質板51と、各テープの幅方向の外形に沿って多孔質板51の内部に複数形成された、多孔質板51の水平方向の仕切部材54と、隣接する仕切部材54の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニット71を、選択的に駆動しうる負圧発生機構70とを備えている。これにより、多孔質板51の内部を通って負圧がリークするのを防止することが可能になり、多孔質板51の表面であって仕切部材54の内側に配置されたテープを負圧によって確実に吸着することができる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ワークの吸着面を構成する多孔質板と、
前記ワークの外形に沿って前記多孔質板の内部に形成された、前記多孔質板の水平方向の仕切部材と、
前記仕切部材の内側に負圧を発生させる負圧発生機構と、
を備えたことを特徴とする吸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
3C007FS01
, 3C007FT10
, 3C007FT11
, 3C007NS10
, 4F042AA02
, 4F042AA07
, 4F042AA27
, 4F042AB00
, 4F042DF09
, 5F031CA09
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA14
, 5F031MA21
, 5F031PA16
