特許
J-GLOBAL ID：200903036277708132
真空排気装置及びそのメンテナンス方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043711
公開番号（公開出願番号）：特開平10-238462
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】 ドライ真空ポンプを含む真空排気装置において、ドライ真空ポンプ内での生成物付着を防止して装置稼働率を向上させる。【解決手段】 ドライ真空ポンプ5の後段にモータ8aを備えた補助ポンプ8を設けるとともに、ドライ真空ポンプ8の温度を検出する温度センサ9と、ドライ真空ポンプ8を所定の温度に維持するようにドライ真空ポンプ8の温度に応じてモータ8aの回転数を調整する制御手段10とを設ける。ドライ真空ポンプ5は空冷とする。ドライ真空ポンプ5を過熱による故障を生じない範囲で極力高温に保って生成物付着を防ぐことができる。また、ドライ真空ポンプ5と補助ポンプ8との間に設けた排気トラップ6の交換は、ドライ真空ポンプ5が所定の温度に保たれている状態での補助ポンプ8のモータ回転数に基づいて行う。
請求項（抜粋）：
ドライ真空ポンプと、該ドライ真空ポンプの後段に位置する補助ポンプと、該補助ポンプの排気性能を変化させる調節手段と、を有することを特徴とする真空排気装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04B 37/16 A
, F04B 37/16 D
, F04C 25/02 K
