ガスセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224557
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045321
出願日： 1991年08月10日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】イオウ系の化合物ガスなどの雑ガスの影響を受けにくく、優れた感度を安定して示すガスセンサを提供する。【構成】絶縁基板1上に、Au(金)及びSn(スズ)を真空蒸着し、更に空気中で熱処理することによりSnO2 (酸化スズ)を主成分とした薄膜状ガス感応体2を形成する。次に、薄膜状ガス感応体2上にPd(パラジウム)からなる触媒3及びくし型Au電極4を真空蒸着法により順次形成する。最後に、これらの表面に膜厚10nmのプラズマポリマー5を被覆してガスセンサを完成する。

請求項（抜粋）：

白金族触媒を含むガスセンサの表面がプラズマポリマーで被覆されてなるガスセンサ。

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