特許

J-GLOBAL ID：200903036286187030

EL表示装置の製造方法

発明者： 鈴木 浩司
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283175
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110566
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 EL素子をパターニングする際は、ホトレジストから成るカソードセパレータを採用していた。しかしこのカソードセパレータは、完成後の製品に残され、吸湿性があるためEL素子の有機層の劣化を招いた。【解決手段】 有機層55のエッチングは、酸素を含むプラズマ中で実施される。特にエッチングマスクとしてホトレジストPRを採用しても、プラズマエッチングの際に、このホトレジストPRが除去されていく。従って、ホトレジストPRによる吸湿は、無視できる。

請求項（抜粋）：

陽極と陰極の間に有機材料を有するEL素子が複数個形成されたEL表示装置の製造方法であり、前記有機材料は、酸素を含むプラズマ中でパターニングされる事を特徴とするEL表示装置の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

Fターム (13件)：

3K007AB00 ,  3K007AB02 ,  3K007AB13 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CA02 ,  3K007CA05 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01