特許
J-GLOBAL ID：200903036287818050
エリプソメータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050880
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 1回の測定で単色光線複数波長分の測定が行えるエリプソメータを提供する。【構成】 測定試料14に直線偏光を照射し、この時、測定試料14より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子15と光検出器を用いて測定することによって、測定試料14の光学定数及び膜厚を得る分光型のエリプソメータにおいて、回転検光子15の後方には、透過波長の異なる複数の単色光フィルター2を、上記偏光の光軸に対して垂直かつ同一平面上に配列すると共に、上記光検出器を、上記複数の単色光フィルター2の透過光を個別に受光する2次元光検出器3とした構成となっている。
請求項（抜粋）：
測定試料に直線偏光を照射し、この時、上記測定試料より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子と光検出器を用いて測定することによって、上記測定試料の光学定数及び膜厚を得る分光型のエリプソメータにおいて、上記回転検光子の後方には、透過波長の異なる複数の単色光フィルターを、上記偏光の光軸に対して垂直かつ同一平面上に配列すると共に、上記光検出器を、上記複数の単色光フィルターの透過光を個別に受光する2次元光検出器としたことを特徴とするエリプソメータ。
IPC (3件)：
G01N 21/21
, G01J 4/04
, G01J 3/447
