特許
J-GLOBAL ID：200903036295353856
半導体装置の搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129980
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293783
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【目的】 複数個の半導体装置を同時に搬送しながら半導体装置の回転方向を揃えると同時に、半導体装置間ピッチを変更できる装置を得る。【構成】 アクチュエータA12によりリンク棒17を介してプレート21a,21b,21cの配置ピッチを変えるようにし、このプレートの他端に回動自在に吸着棒を保持し、各吸着棒にプーリーを設け、プーリーにベルト37,41をかけてアクチュエータB22により吸着棒を回動するようにし、さらに、ベルトの緩みを防止するローラー38,42と引張りバネ39,43を設けた。
請求項（抜粋）：
吸着棒にて半導体装置を吸着、搬送する搬送装置において、直動軸に支持されて移動するように配置されたプレートの一端に吸着棒を回動自在に保持せしめ、一方上記各プレートの他端は一連のリンクにより第1のアクチュエータに連結して上記吸着棒の配置ピッチを変え得るようにすると共に、上記吸着棒にはそれぞれプーリーを設けて各プーリーをベルトで結んで第2のアクチュエータに連動せしめることにより上記吸着棒を回動するようにし、上記ベルトには上記吸着棒の配置ピッチの変更にかかわらずベルトが緩まないようにアイドラーとしてのローラー及び引張りバネを設けたことを特徴とする半導体装置の搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 15/06
, B25J 15/00
, H01L 21/68
