特許
J-GLOBAL ID：200903036296842290
ウェーハ立て替え装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-071395
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274144
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【構成】 第一のキャリア2に整列保持されたウェーハ3を一旦保持機構8に移し、それを第二のキャリア6の支持部6b、6b間を貫通して上昇した上下機構5の頂部5bに移し、その後上下機構5を降下させウェーハ3を第二のキャリア6に移すウェーハ立て替え装置において、ウェーハ3を保持した上下機構5の下降時に落下不良を押さえる上部押さえ機構11を付設したことを特徴とするウェーハ立て替え装置。【効果】 保持機構からウェーハを上下機構に移すときに、ウェーハが保持溝に引っ掛かった場合には、ウェーハ上から上部押さえ機構でウェーハ上部を押さえ、上下機構の受け溝に挿入される。
請求項（抜粋）：
第一のキャリアに立てて整列保持したゥェーハを前記第一のキャリアを底部空間より貫通して上昇する上下機構がその頂部に有する受け溝に保持してさらに上昇してウェーハ保持機構に移し、そのウェーハを第二のキャリアを底部空間より貫通して上昇した上下機構が受けて降下し、前記第二のキャリアに入れかえるウェーハ立て替え装置において、前記上下機構の降下時に前記ウェーハ保持機構から前記上下機構へ落下しないウェーハを押さえて落下させる上部押さえ機構を付設したことを特徴とするウェーハ立て替え装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, C23C 14/50
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 C
, C23C 14/50 D
