特許
J-GLOBAL ID:200903036299124541

疵検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森田 寛 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-233599
公開番号(公開出願番号):特開平5-101164
出願日: 1991年09月13日
公開日(公表日): 1993年04月23日
要約:
【要約】【目的】本発明は、被検査物体の表面に存在する疵の疵情報を検査する疵検査装置に関し、検査精度の向上を図るとともに、疵検査処理の実行に要する調整処理を容易なものにすることを目的とする。【構成】1つ又は複数の入力とこの入力に乗算されるべき内部状態値とを受け取って積和を得るとともに、この積和値を規定関数によって変換して最終出力を得る基本ユニットを基本単位にして、この基本ユニットのネットワーク接続から構成されるネットワーク構成データ処理手段を用意し、このネットワーク構成データ処理手段に対して、検出された疵信号から抽出される特徴量を入力していくとともに、内部状態値として、この入力に対応してネットワーク構成データ処理手段から疵情報を出力することになる値が設定されるように構成する。
請求項(抜粋):
被検査物体の表面に存在する疵の疵情報を検出する疵検査装置において、1つ又は複数の入力と該入力に乗算されるべき内部状態値とを受け取って積和を得るとともに、該積和値を規定関数によって変換して最終出力を得る基本ユニットを基本単位にして、該基本ユニットのネットワーク接続から構成されるネットワーク構成データ処理手段を用意し、上記ネットワーク構成データ処理手段に対して、検出された疵信号から抽出される特徴量を入力していくとともに、上記内部状態値として、該入力に対応して該ネットワーク構成データ処理手段から上記疵情報を出力することになる値が設定されるよう構成されてなることを、特徴とする疵検査装置。
IPC (5件):
G06F 15/62 400 ,  G06F 15/18 ,  G06F 15/70 330 ,  G06F 15/70 465 ,  G01N 21/88
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-144350

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