特許
J-GLOBAL ID：200903036299620050
ワイヤボンディング装置におけるキャピラリのセッティング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181818
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347326
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 キャピラリの高精度な位置合わせを実現可能としたワイヤボンディング装置におけるキャピラリのセッティング方法を提供する。【構成】 パターン認識用のカメラ3を備えたワイヤボンディング装置におけるキャピラリのセッティング方法であって、ターゲット2の上方に配置したキャピラリ1を降下させて、このキャピラリ1の先端でターゲット2上に圧痕2aを付ける工程と、圧痕2aが付けられたターゲッド2をパターン認識用のカメラ3で読み取り、その読み取った画像を基にターゲット2の中心P1と圧痕2aの中心P2とを割り出す工程と、ターゲット2の中心P1と圧痕2aの中心P2との位置ズレ量ΔX、ΔYを算出して、その算出した位置ズレ量ΔX、ΔYを基にキャピラリ1の位置を補正する工程とから成る。
請求項（抜粋）：
パターン認識用のカメラを備えたワイヤボンディング装置におけるキャピラリのセッティング方法であって、ターゲットの上方に配置したキャピラリを降下させて、このキャピラリの先端で前記ターゲット上に圧痕を付ける工程と、前記圧痕が付けられたターゲッドを前記パターン認識用のカメラで読み取り、その読み取った画像を基に前記ターゲットの中心と前記圧痕の中心とを割り出す工程と、前記ターゲットの中心と前記圧痕の中心との位置ズレ量を算出して、その算出した位置ズレ量を基に前記キャピラリの位置を補正する工程とから成ることを特徴とするワイヤボンディング装置におけるキャピラリのセッティング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 301
, G05F 1/00
, G06F 15/62 405
