特許

J-GLOBAL ID：200903036307802236

静電容量式力学量センサ

発明者： 宇野 圭輔 ,  森田 善之 ,  梅田 秀信 ,  日笠 浩一
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321455
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148233
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 温度の安定性が高く、抵抗分等による損失も可及的に減少し、高精度の静電容量式力学量センサを提供すること【構成】 シリコン板10で形成した重り部14の下面を共有電極18とし、その下方に配置したガラス板11に第1,第2の固定電極16,17を形成し、両電極16,17は、それぞれ配線19,20を介して外部に取り出し可能となる。これにより第1の固定電極と共有電極間で第1の静電容量C1が生じ、また同様に第2の固定電極と上記共有電極との間で第2の静電容量C2が生じる。そして、それら両静電容量C1,C2は、一端が共有電極18で共通しているため、その等価回路は、第1,第2の静電容量が直列接続された構成となる。そして、静電容量検出用の回路のほとんどが、抵抗値の低い電極並びに配線により構成される。

請求項（抜粋）：

加速度等の力学量に応じて変位する重り部が形成されたシリコン板等の半導体板と、前記重り部に所定の間隙をおいて対向させた絶縁基板とを備え、前記重り部の表面に共有電極を形成するとともに、その共有電極に対向する前記絶縁基板に複数の固定電極を形成し、その複数の固定電極に接続した配線を介して前記重り部の変位にともなう前記共有電極と前記固定電極との間で生じる静電容量の変化を取り出し可能とした静電容量式力学量センサ。