特許
J-GLOBAL ID：200903036316998305
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-332393
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164775
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 半導体タイプの検出チップ部を過大入力から保護し、検出感度と検出精度の向上とコストダウンを図る。【構成】 半導体タイプの検出チップ部7が実装されたフレキシブルプリント基板5に穴13を形成するとともに、フレキシブルプリント基板5の裏側のベースプレート3に穴12を形成し、検出チップ部7をブリッジ部14のみで支える。加速度作用方向の過大入力に対して、フレキシブルプリント基板5のブリッジ部14と屈曲部15の弾性変形によって検出チップ部7への過大入力を吸収・緩和する。
請求項（抜粋）：
少なくとも一端が支持された重錘部とこの重錘部の変位を検出する検出部および検出部からの出力を処理する信号処理回路部の三者を同一のシリコン基板上に形成してなる検出チップ部と、前記検出チップ部に付随するその他の回路部品とをハウジング内に収容して密閉した構造の加速度センサにおいて、少なくとも前記検出チップ部を、前記ハウジングに対して検出すべき加速度の作用方向に変位可能に弾性支持させたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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