特許

J-GLOBAL ID：200903036335135067

基板検査装置

発明者： 徳谷 照義
出願人/特許権者： オーエヌ電子株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170569
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004561
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 X線の透過原理を利用して必要部分の接続状態の良否を容易に検出できるような基板検査装置を提供する。【解決手段】 X線発生装置3からのX線を試料7としての生の基板20に投影し、蛍光板9に像を結ばせて、その像を鏡10で反射させCCDカメラ11で撮像する。次に、試料7として基板20にIC21を実装した状態で同様の像をCCDカメラ11で撮像し、両者の差によりIC21のはんだ付け状態を判別する。

請求項（抜粋）：

X線を基板に透過して該基板に実装されている電子部品の接続状態を検査するための基板検査装置であって、前記基板に前記電子部品を実装する前に基板にX線を透過したときの像と、前記電子部品を実装した後の基板にX線を透過したときの像との差により前記電子部品の取付像を抽出して接続状態の良否を判別することを特徴とする、基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

Fターム (17件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001FA03 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319CC22 ,  5E319CD53

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-072249
  
• 特開昭62-219632