薄膜磁気記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067705
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273141
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 Co-Cr-Ta系薄膜磁気記録媒体と同等あるいはそれ以上の磁気特性を有するCo-Cr-Nb系薄膜磁気記録媒体を提供する。【構成】基板と、該基板上に形成された、hcp結晶のc軸の膜面垂直配向分散角が10度以下である結晶配向促進層と、該結晶配向促進層上に成膜された、ニオブを1〜8原子パーセント含有する膜厚100nm以下のコバルト・クロム系磁気記録層とを有する薄膜磁気記録媒体。

請求項（抜粋）：

逆スパッタリングにより表面処理された基板と、該基板上にスパッタリング成膜された、ニオブを1〜8原子パーセント含有する膜厚100nm以下のコバルト・クロム系磁気記録層とを具備したことを特徴とする薄膜磁気記録媒体。

IPC (3件)：

G11B 5/66 , G11B 5/84 , G11B 5/85

FI (3件)：

G11B 5/66 , G11B 5/84 A , G11B 5/85 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-234237
特開昭61-077125
特開昭63-119017

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