特許

J-GLOBAL ID：200903036357158656

位置合せ光学系の可変減光方法

発明者： 森口 泰之
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350936
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179043
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 2種類の基板のうち一方の基板の反射率が大きいとき、一方の基板の反射光を簡易な方法により連続的に減光する。【解決手段】 光源61の照明光LT をランダム偏光光とし、光源61と両基板1,2の間に挿入され、偏光角が回転可能な第1の偏光板67と、両基板とCCDカメラ65の間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第2の偏光板68とを設け、両基板1,2の一方の反射率が大きくて、その反射光によりCCDカメラ65の画像信号が飽和するとき、第1の偏光板67の偏光角の回転により照明光LT の偏光角を調整して、第2の偏光板68を透過する反射光を適切に減光する。【効果】 CCDカメラ65の飽和が防止されて、両基板1,2の位置合せが正確になされる。

請求項（抜粋）：

2種類の基板を重ね合わせ、該両基板にそれぞれ設けられ、互いに微小距離離隔した位置合せマークに対して、光源よりの照明光を照射して、CCDカメラにより撮像する位置合せ光学系において、上記照明光をランダム偏光光とし、該光源と両基板の間に挿入され、偏光角が回転可能な第1の偏光板と、該両基板と該CCDカメラの間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第2の偏光板とを設け、該両基板の一方の反射率が大きくて、その反射光により該CCDカメラの画像信号が飽和するとき、該第1の偏光板の偏光角の回転により上記照明光の偏光角を調整して、該第2の偏光板を透過する該反射光の光量を低減し、該画像信号の飽和を防止することを特徴とする、位置合せ光学系の可変減光方法。

IPC (4件)：

G02B 26/08 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505

FI (4件)：

G02B 26/08 G ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505