特許

J-GLOBAL ID：200903036360420191

映像検査のためのインテグラル視野レンズ照明

発明者： グレイブズ,テリー エル. ,  フエイン,ハワード
出願人/特許権者： プレスコ テクノロジー インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 川北 武長
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-508718
公開番号（公開出願番号）：特表平10-505155
出願日： 1995年05月22日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】光学式検査システム(A)における分離した検査品のための照明システムで、撮像システム(C)と、それに対応する照明システム(B)を含む。ビームスプリッタ(16)が光源(10)からの光をさえぎり、その1部を視野レンズ(20)へ送る。視野レンズ(20)は次にその光を視野(22)に置かれた検査品(24)へ送る。検査品(24)から反射された光は視野レンズ(20)を通って戻り、ビームスプリッタ(16)を通過して、最終的に映像カメラ(34)に送られ、この反射光からデジタル化された画像が得られる。別の実施例においては、検査品(24)から反射され、ビームスプリッタ(16)を通過した光が、第2のビームスプリッタ(30)に送られる。そこで分割された光が第1および第2の映像カメラ(34、36)に送られ、それによって検査品(24)の別の部分の映像化が可能となる。

請求項（抜粋）：

映像検査照明システムであって、 ビームスプリッタと、 ビームスプリッタに光を向かわせる光源と、 光源からの光の一部をビームスプリッタを通して受け、それを視野に送って視野内にある対象検査品(associated specimen)から反射される光を受け取る視野レンズと、 実質的に全ての光が光源からビームスプリッタと視野レンズを通って視野に達するように、光源を視野に対して固定する手段とを含むシステム。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01B 11/30 C ,  G01N 21/84 E ,  G01N 21/88 Z