特許

J-GLOBAL ID：200903036361838556

誘電体キャパシタ

発明者： 中野 洋
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-069980
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264721
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】本発明は誘電体材料固有の周波数特性を有効に活用することを目的とする。【構成】基板(31)と、下部電極(32)と、強誘電体膜の一部をなす第1層(33a) と、第1中間電極(34a) と、強誘電体膜の一部をなす第2層(33b) と、第2中間電極(34b) と、強誘電体膜の一部をなす第3層(33c) と、第3中間電極(34c) と、強誘電体膜の一部をなす第4層(33d) と、上部電極(35)を具備し、第1層、第1中間電極、第2層に第1コンタクトホール(36a) が設けられ、該ホール内に絶縁層を介して第1導電体(38a) が設けられ、第2層、第2中間電極、第3層に第2コンタクトホール(36b) が設けられ、該ホール内に絶縁層を介して第2導電体(38b) が設けられ、第3層、第3中間電極、第4層に第3コンタクトホール(36c)が設けられ、該ホール内に絶縁層を介して第3導電体(38c) が設けられている誘電体キャパシタ。

請求項（抜粋）：

複数の電極層と複数の強誘電体層を有している誘電体キャパシタにおいて、前記複数の電極層と前記複数の強誘電体層が交互に積層され、前記複数の電極層のうち偶数番目同士、奇数番目同士が互いに電気的に接続され、偶数番目と奇数番目の電極層は電気的に絶縁されていることを特徴とする誘電体キャパシタ。

IPC (5件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G11C 11/22 ,  H01G 4/12 346 ,  H01G 4/12 394

FI (4件)：

H01L 27/04 C ,  G11C 11/22 ,  H01G 4/12 346 ,  H01G 4/12 394