特許
J-GLOBAL ID:200903036366470905

電子写真感光体の製法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-126849
公開番号(公開出願番号):特開平6-337534
出願日: 1993年05月28日
公開日(公表日): 1994年12月06日
要約:
【要約】【目的】 基体端部の形状によりa-Si成膜後の端部の変形を補正すると共に、膜剥離による成膜欠陥の発生も防止する電子写真感光体の製法を提供する。【構成】 3mm乃至10mmの幅の全周に亘って-0.1度乃至-2.0度の傾斜を有する第1のテーパー面17と、その第1のテーパー面17より短い幅に亘って1.0度乃至3.0度の傾斜を有する第2のテーパー面18とが、その端部より順次形成されたアルミニウム製筒状基体1に、グロ-放電プラズマCVD法によりa-Si膜を成膜形成する。
請求項(抜粋):
3mm乃至10mmの幅の全周に亘って-0.1度乃至-2.0度の傾斜を有する第1のテーパー面と、該第1のテーパー面より短い幅に亘って1.0度乃至3.0度の傾斜を有する第2のテーパー面とが、その端部より順次形成されたアルミニウム製筒状基体に、グロー放電プラズマCVD法によりアモルファスシリコン膜を成膜形成したことを特徴とする電子写真感光体の製法。
IPC (3件):
G03G 5/08 350 ,  G03G 5/08 360 ,  G03G 5/10

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