三軸加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：末成幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052770
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264083
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】回路を複雑にすることなく高精度な自己診断が可能な三軸加速度センサを提供する。【解決手段】振動板上の中心Oを通り互いに直交するようにX,Y軸を定義し、この軸上に中心Oを挟んで対称となるように検出電極を配置し、各軸における検出電極対の一方の外側に加振電極を配置する。さらに、加振電極が配置される側の検出電極の分極極性を両軸で同一とし、それぞれ他方の検出電極の分極極性を逆極性に分極させる。また、加振電極による振動の影響が少ない部分に電極の配線パターンを配置するとともに配線パターンの面積をX,Y,Z軸の各検出電極で等しくし、中心OからX,Y軸加振電極を見込むそれぞれ約45度の扇形の範囲内に形成された配線パターンをX,Y軸加振電極の対称軸と軸を同じくして線対称に形成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

板状の振動板と、この振動板に固着されその表面に電極が形成された圧電素子と、上記振動板の外周を支持する支持部材と、上記振動板に取り付けられる重錘体とを備え、上記重錘体に作用する加速度のXYZ成分を検出する三軸加速度センサにおいて、上記振動板上に中心点を定義し、この中心点を通過しそれぞれが直交するようにX、Y軸を定義し、このX軸上に中心点を挟んで対称となるようにX軸検出電極対が配置され、上記Y軸上に中心点を挟んで対称となるようにY軸検出電極対が配置され、さらに上記X、Y軸と約45度の角度をなす二つの軸上にそれぞれZ軸検出電極対が原点を中心として回転対称に配置されるとともに、X軸上には励振によってX軸またはZ軸の診断を行うX軸加振電極を配置し、Y軸上には励振によってY軸またはZ軸の診断を行うY軸加振電極を配置することを特徴とする三軸加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P15/09 , G01P15/18 , G01P21/00

FI (3件)：

G01P15/09 D , G01P21/00 , G01P15/00 K

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