光走査プローブ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174744
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】所望とする走査範囲をカバーし、焦点を結ぶ集光光学系の設計が容易で、分解能を大きくできる光走査プローブ装置を提供する。【解決手段】光源部からの光を伝達する光ファイバ6bの先端側はベース14の孔部で保持され、その前方に突出した光ファイバ先端部20は対物レンズ18と共にレンズホルダ17で保持され、レンズホルダ17は上下の薄板15a,15cと左右の薄板とでその後端側に対して弾性的に変形可能に保持され、各薄板15a,15cにはそれぞれ板状の圧電素子16a,16bが取り付けられ、駆動信号を印加することにより板面に垂直方向に曲げてレンズホルダ17を移動し、光ファイバ先端部20から出射される光を対物レンズ18で集光して被検部側に焦点21を結ぶように走査する構成にした。

請求項（抜粋）：

光源装置が発する観測光の焦点を被検部に対して走査し、該走査により得られる前記被検部からの前記観測光の反射光を観測装置に伝達する光走査プローブ装置において、前記光源装置が発する前記観測光を伝達して該観測光を末端面より出射するとともに、前記被検部からの前記観測光の前記反射光を前記末端面より入射して前記観測装置に伝達する伝達手段と、前記伝達手段の前記末端面から出射される前記観測光を集光する集光光学系と、前記伝達手段の前記末端面と共に前記集光光学系を固定する固定手段と、前記固定手段を移動し、前記観測光の焦点を被検部に対して走査する走査手段と、を有することを特徴とする光走査プローブ装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 105 , G02B 26/10 , G02B 23/24

FI (4件)：

G02B 26/10 105 Z , G02B 26/10 C , G02B 26/10 G , G02B 23/24 A

Fターム (6件)：

2H040DA12 , 2H040DA41 , 2H045AF02 , 2H045AG09 , 2H045BA13 , 2H045DA02

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