特許
J-GLOBAL ID：200903036376456544
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198533
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【構成】 静電チャックは、誘電体1の内部に電極2a・2bが埋設されてなる静電チャック本体20と、電極2a・2b間に直流電圧を印加する直流電源3とを有し、静電気力により吸着対象物4を吸着固定する。誘電体1は、非弾性誘電層1aと弾性層1bとから成り、吸着面にゴミが付着しても、弾性層1bの変形によってゴミは層内に埋没する。また、吸着対象物4の表面が粗面でも、その表面形状に応じて弾性層1bが変形し、吸着対象物4との密着性が向上する。【効果】 吸着面へのゴミの付着、吸着対象物4の表面の粗さが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が従来よりも小さく、吸着面の清掃周期を従来よりも延長できると共に、表面の粗さによる吸着対象物4に対する制限が緩和される。
請求項（抜粋）：
誘電体内部に所定の直流電圧が印加される電極が埋設されてなる静電チャック本体を備え、静電気力によって上記静電チャック本体の表面に吸着対象物を吸着する静電チャックにおいて、上記静電チャック本体の表面に、弾性層が形成されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (4件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H02N 13/00
