特許

J-GLOBAL ID：200903036382678478

窒化アルミニウム基板及びその製造方法

発明者： 黒光 祥郎 ,  豊田 誠司 ,  菅村 邦夫 ,  中林 明
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130296
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330474
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 放熱特性がAlN自体の放熱特性により近い。AlN焼結体とガラスを含む層との接合界面で気泡がなく、かつ表面平滑性と耐食性に優れる。ガラスグレーズド層、導体層等を基板上に容易に、安定してかつ強固に形成し得る。【構成】 窒化アルミニウム基板10は、窒化アルミニウム焼結体11と、この焼結体上に設けられたAl2O3層12と、このAl2O3層上に設けられAl2O3にガラスが混在したガラス混在Al2O3層13とを含む。ガラス混在Al2O3層上に更に酸化物粒子分散ガラス層14及び主ガラス層16を設けることが好ましい。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結体(11)と、前記焼結体(11)上にAl2O3層(12)を介して又はAl2O3層(12)を介さずに設けられAl2O3にガラスが混在したガラス混在Al2O3層(13)とを含む窒化アルミニウム基板。

IPC (4件)：

C04B 41/87 ,  B41J 2/335 ,  C04B 41/89 ,  H05K 1/03