特許
J-GLOBAL ID：200903036382897854
X線分光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260787
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099863
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】真空紫外光による分光器からの長波長の散乱光を遮断して、純度の高い短波長のX線の分光を可能にすることである。【構成】レーザープラズマ光源とX線検出器23との間の光路上に挿脱可能なフィルタ36を設ける。このフィルタ36は原子番号17以下の物質又はその化合物、例えばボロンフィルタから成り、20Å以下の短波長域のX線を透過させ、長波長のX線及び真空紫外光による分光器16からの散乱光を遮断する。長波長のX線を用いる場合は、フィルタ36をマニピュレーター37によって光路外へ移動させる。
請求項（抜粋）：
レーザープラズマ光源から放射されたX線を凹面回折格子で回折させ、該回折光を前記凹面回折格子のローランド円の円周に沿って移動可能に設けられたスリットを介して物体に照射し、該物体からの反射,透過又は回折光をX線検出器で受光するようにしたX線分光装置において、前記レーザープラズマ光源からX線検出器に至る光路中に、真空紫外波長域の光を遮蔽し且つ20Å以下のX線を透過するフィルタを設けたことを特徴とするX線分光装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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