特許

J-GLOBAL ID：200903036388612916

補償光学装置及びこれを用いた光空間通信装置、レーザ測距装置、レーザ加工機

発明者： 一ノ瀬 祐治 ,  妹尾 誠
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042402
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239600
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 曲率ミラーを用いない方式では波面検出のための光学系が複雑になったり、制御誤りを生じる。また、曲率ミラーは波面検出部と一対で補償光学装置を構成する必要があり、波面検出部の光学系及び制御演算が大規模化する。【解決手段】 ミラー面の曲率分布を可変可能な曲率ミラー3を光経路内に設け、その出射光をレンズ5で集光し、その光強度を光検出器6で検出する。得られた光強度信号13を基に変調強度信号14及び前記曲率ミラーの駆動領域毎の変調信号9を同期検波部7で求め、更に、変調強度信号14を基に曲率ミラー3の制御量を制御部8で決定する。制御部8よりの制御信号17と同期検波部7よりの変調信号9を加算器10で加算し、この加算値を基に曲率ミラー3の出射光の波面が平坦になるように曲率ミラー3の曲率を駆動部12で変動させる。

請求項（抜粋）：

ミラー面の曲率分布を可変して入射光の波面歪みを補正する曲率ミラーと、該曲率ミラーの出射光を集光する光学系と、該光学系からの光の強度を検出する光検出手段と、該光検出手段で検出した光強度信号を基に前記曲率ミラーの出射光の波面が平坦になるように前記曲率ミラーの曲率を変動させる制御手段を具備することを特徴とする補償光学装置。

IPC (7件)：

G02B 26/08 ,  B23K 26/04 ,  G01S 7/48 ,  G02B 26/06 ,  H04B 10/105 ,  H04B 10/10 ,  H04B 10/22

FI (5件)：

G02B 26/08 E ,  B23K 26/04 C ,  G01S 7/48 A ,  G02B 26/06 ,  H04B 9/00 R