特許

J-GLOBAL ID：200903036389408581

近接視野顕微鏡

発明者： 福澤 健二 ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-299236
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134187
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【目的】 直径が0.1μm以下で、かつサイズのばらつきおよび経時劣化の少ない実効的な開口を有し、開口から検出器までの光量の減衰によるSN比の劣化がない近接視野顕微鏡を提供する。【構成】 光検出部は、絶縁体で作られた支持部であるSiO2 基板101と、導電膜、例えばスパッタ法で形成された金属膜102と、絶縁膜、例えばスパッタ法で形成されたSiO2 膜103と、導電部104と、蛋白質バクテリオロドプシンを含む紫膜105と、光を透過する導電膜、例えばスパッタ法で形成されたSnO2 膜106と、それぞれ金属膜102、SiO2 膜103に設けられた端子108,107と、端子107,108に接続された負荷抵抗109と、負荷抵抗109と並列に接続された記録計110とで構成されている。紫膜105のうち不要な部分を紫外光で失活させることにより、所望の大きさの開口が形成される。

請求項（抜粋）：

光源と、受光部分の直径および受光部分と検査すべき試料表面との間隔が光源の光の波長より小さい検出器と、該検出器と試料の相対位置を3次元的に変化させる機構を有する近接視野顕微鏡において、前記検出器が、導電体または半導体または導電体と半導体に挟まれた蛋白質バクテリオロドプシンと、導電体または半導体または導電体と半導体の間の電圧、電流あるいは静電容量を計測する手段を有することを特徴とする近接視野走査型顕微鏡。